實(shí)現超精密加工基本條件：

為了能實(shí)現超精密加工并獲得預期的加工效果，必須具備下述基本條件：

被加工工件的材質(zhì)要密實(shí)；各向的同一性要好（最好為單晶）；表層硬度和彈性模量要恒定一致；可加工性要好；材料的化學(xué)成份與機械物理性能對標準值的偏差不應超過(guò)0.1%。

選用的超精密加工工藝方法要與被加工材料相匹配。例如，有色金屬材料（如銅、鋁合金）宜用單點(diǎn)金剛石刀具進(jìn)行車(chē)削或銑削加工；玄色金屬材料（如鋼等）則宜選磨削與研、拋等工藝，否則得不到預期的加工效果等。

加工環(huán)境要嚴格恒溫、隔振和凈化。恒溫室（第一分隔區）中的溫度波動(dòng)不得大于±0.1°C；加工區（第二分隔區）中則不應超過(guò)±0.01°C；環(huán)境的相對濕度要保持在40%±10%以?xún)?；大氣壓力（如用激光丈量?jì)x時(shí)）應保持1MPa±0.1%；機床地基的隔振系統固有頻率<2Hz；加工區的凈化度應為每立方英尺中大于0.1μm的微粒含量應未幾于10顆。

具有能實(shí)現納米級（1nm ~10nm）增量進(jìn)給的機床和分辨力優(yōu)于0.1nm的丈量設備，如激光干涉儀，掃描隧道顯微鏡和原子力顯微鏡等。